青島日報社/觀海新聞9月8日訊 近日，青島高新區半導體產業再次傳來好消息，由青島賽爾微電子有限公司投資建設的賽爾微電子半導體設備研發制造項目、由青島海迪克半導體科技有限公司投資建設的海迪克半導體設備研發制造項目簽約落戶青島高新區，進一步為園區半導體產業強鏈補鏈、擴充產業規模。
據了解，賽爾微電子半導體設備研發制造項目落成達產后，將主要從事擴散爐和低壓氣相化學沉積設備的研發和生產，產品是半導體芯片等產品生產過程中必需的設備，涉及半導體產業的核心技術和國家戰略，也是當前我國半導體產業被“卡脖子”的主要領域之一，國產替代前景較好，市場空間巨大。
海迪克半導體設備研發制造項目主要從事半導體行業高精度控制系統及設備的設計、制作與維護服務，產品包括擴散爐、真空爐、LED退火爐、氣相化學沉積設備等設備。該項目的引進將有效補充園區半導體專用設備領域鏈條內容，并有效促進我國半導體設備相關領域自主可控能力提升，對于保障產業安全具有積極意義。
據悉，擴散爐、退火爐、氣相化學沉積設備等均屬于前道工序設備，應用于晶圓制造和部分先進封裝晶圓處理環節。園區已有青島賽瑞達電子科技有限公司實現相關設備產品的生產銷售。賽爾微電子及海迪克半導體設備研發制造兩個項目落地建成后，青島高新區在半導體專用設備研發方面將初步形成產業集聚，助推半導體產業的發展。
半導體產業作為青島高新區新一代信息技術產業的細分領域，近年來一直在逐步擴大規模，目前已形成了除晶圓制造以外包括芯片設計、封裝測試、設備制造、材料方向等在內的半導體全產業鏈雛形。青島高新區招商部新一代信息技術產業事業部負責人介紹道，根據生產流程，園區的半導體產業大致可分為設備類、材料類、設計類、制造類等。“此次引進的半導體項目，將為園區半導體設備類產業發展帶來新生力量，將進一步強化產業鏈上下游集群效應，有效增強半導體產業的集聚力量。”
目前，青島高新區正在積極引進半導體產業上下游企業，已經有20多家相關企業在園區集聚，比如埃地沃茲真空泵制造（青島）有限公司、青島高測科技股份有限公司、青島賽瑞達電子科技有限公司等。其中，埃地沃茲是世界500強企業阿特拉斯·科普柯集團旗下的品牌企業，在半導體真空設備干泵全球市場占有率連續多年超過50%。埃地沃茲青島公司生產的真空泵可用于半導體制造、平板顯示器制造、鋰電池生產、制藥、冶金以及空氣處理等多種行業，真空泵年生產能力約2萬臺套。
青島高新區招商部新一代信息技術產業事業部負責人表示，當前園區半導體產業已初具規模，“下一步，青島高新區將從芯片設計、半導體設備制造、封裝測試、二代和三代半導體材料生產及加工等半導體產業細分領域入手，繼續擴充半導體產業儲備資源。”（青島日報/觀海新聞記者 周偉）
責任編輯：劉錕鋒
